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: 國內高純硅烷灌裝流程

高純硅烷灌裝前，首先利用高純氮氣、氦氣對系統(tǒng)進行高壓檢漏，真空置換。然后分析氣源，氣瓶是否合格，待一切準備就緒后，生產儲罐輸送來的高純硅烷氣經壓縮機增壓后通過灌裝控制面板充入已準備就緒的容器中，完成灌裝后，系統(tǒng)自動切斷。隨后更換下一批容器進行灌裝。如果灌裝時間間隔較長，灌裝完成后，應對系統(tǒng)進行減壓、置換，不可使系統(tǒng)中長期存有硅烷。硅烷灌裝示意流程見下圖
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: 硅烷項目新進展

今日，國內硅烷氣項目建設有了新的進展。目前，年產3000噸硅烷氣項目二期工程已與6月25號試車投產，運行平穩(wěn)且達產達標，產品純度已達99.999999%，主要經濟指標接近或達到國外同類產品指標要求。該項目的建成達產標志著我國高純度硅烷大規(guī)模生產技術獲得突破，結束了國內高純度硅烷產品全部依靠進口的歷史。該項目采用硅烷法實現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產，解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術難以大規(guī)模生產以及成本高、排放大等難題，生產成本較國際同類產品低30%以上。
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