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國內高純硅烷灌裝流程

文章出處：責任編輯：人氣：-發(fā)表時間：2018-07-26 10:26:00【大 中 小】
 
高純硅烷灌裝前，首先利用高純氮氣、氦氣對系統(tǒng)進行高壓檢漏，真空置換。
 
然后分析氣源，氣瓶是否合格，待一切準備就緒后，生產(chǎn)儲罐輸送來的高純硅烷氣經(jīng)壓縮機增壓后通過灌裝控制面板充入已準備就緒的容器中，完成灌裝后，系統(tǒng)自動切斷。隨后更換下一批容器進行灌裝。
 
如果灌裝時間間隔較長，灌裝完成后，應對系統(tǒng)進行減壓、置換，不可使系統(tǒng)中長期存有硅烷。
 
硅烷灌裝示意流程見下圖
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