電子氣體是高科技產(chǎn)業(yè)重要的“源”資料,是集成電路制作過程中必不可少的要害支撐資料。據(jù)專業(yè)人士泄漏,中國半導(dǎo)體行業(yè)要實現(xiàn)從跟隨走向引領(lǐng)的跨越,電子氣體的打破一定會是最重要的一環(huán)。
半導(dǎo)體制作過程中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運用大量的電子氣體,且電子氣體的純度對芯片質(zhì)量影響很大。跟著集成電路制程節(jié)點不斷縮?。ㄒ呀?jīng)走到10/7納米),對電子氣體的顆粒度和雜質(zhì)含量的要求也越來越高。因此,集成電路技能快速發(fā)展,對電子氣體的種類、數(shù)量、質(zhì)量、安全性以及安穩(wěn)性等方面均提出了更高的要求。
可是現(xiàn)在我國電子氣體生產(chǎn)的瓶頸還許多,從原資料純度開端,到組成工藝、對溫度和壓力的操控,再到提純方法和剖析方法,以及產(chǎn)品充裝過程中對雜質(zhì)的操控,每個環(huán)節(jié)都會影響整個產(chǎn)品的質(zhì)量。
從技能層面來看,國內(nèi)企業(yè)已經(jīng)根本具有了生產(chǎn)高純電子氣體的才能,可是國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)商還不能全面進入集成電路等領(lǐng)域。小編總結(jié)了一下三大原因:
榜首,本鄉(xiāng)電子氣體的生產(chǎn)和供貨商規(guī)模較小,不能為用戶供給全方位的服務(wù)。和國際巨頭公司比較,國內(nèi)的供貨商總體來說體量較小,現(xiàn)在大多通過低價競賽的方式占領(lǐng)一點市場份額,從而導(dǎo)致價格快速下滑,利潤很薄,乃至“賠本賺吆喝”。國內(nèi)電子氣體企業(yè)短少提升創(chuàng)新才能的資金,以及為用戶供給全方位服務(wù)的資源。
第二,質(zhì)量安穩(wěn)性問題。電子氣體,特別是高純電子氣體是影響電子器件可靠性和成品率的重要因素。跟著電子信息技能的飛速發(fā)展,對電子氣體的純度要求也越來越高,經(jīng)常需求6N級(99.9999%)乃至更高的純度,并且對電子氣體質(zhì)量的安穩(wěn)性要求也越來越嚴(yán)苛。“舉一個比如,如果一種電子氣體產(chǎn)品,在集成電路制作工藝中通過驗證,這樣的純度和質(zhì)量要求就被確定了。芯片制作商不希望看到產(chǎn)品的質(zhì)量有任何改變,即使是純度的進一步提高也可能產(chǎn)生意想不到的問題。所以電子資料生產(chǎn)過程的任何改變,包括更換質(zhì)料供貨商、生產(chǎn)工藝的變動等,都必須及時通知芯片制作商,他們會依據(jù)情況決定是否重新進行驗證。因為國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的電子氣體發(fā)生過多次質(zhì)量事故,因此,影響了芯片制作商對本鄉(xiāng)電子產(chǎn)品的信任度。”許從應(yīng)對記者說。
第三,國內(nèi)電子氣體產(chǎn)品的包裝、儲運未能和現(xiàn)代電子工業(yè)的要求接軌。為了節(jié)約本錢,許多企業(yè)在包裝、儲運等方面降低了要求,為此出現(xiàn)過種種問題。
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