四氟化碳用途廣泛，目前是微電子行業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。它作為溫室氣體中的一個中類，可以通過多種途徑進入水體、土壤、大氣中，對環(huán)境造成污染。目前的研究已充分證實了臭氧層的損耗與四氟化碳氣體在大氣中釋放的自由基有關(guān)。因此，為了準確的評估四氟化碳的排放量，提供四氟化碳組分氣體的分析方法及準確定值的方法，評價該類氣體物質(zhì)對自然環(huán)境以及經(jīng)濟發(fā)展的影響是當前急需解決的問題！