六氟化硫在電弧作用下主要sf6分解產(chǎn)物有：

（1）四氟化硫（SF4），在常溫下為無(wú)色氣體，有類似SO2的刺激味道。在空氣中能與水蒸氣形成煙霧。SF4與水猛烈反應(yīng)生成SOF2和HF，與堿液反應(yīng)生成氟化物和亞硫酸鹽，遇濃硫酸會(huì)發(fā)生分解并放熱。SF4易溶于苯，可用堿液或活性氧化鋁吸收。SF4對(duì)肺有侵害作用，影響呼吸系統(tǒng)，其毒性與光氣并列。SF6氣體泄露檢測(cè)系統(tǒng)原聯(lián)邦德國(guó)和美國(guó)規(guī)定空氣中允許濃度為0.1×106。

（2）氟化硫（S2F2），在常溫下為無(wú)色、有類似SCl2味道的氣體；遇水蒸氣能在30～40s內(nèi)完全水解形成S、SO2和HF；90℃開(kāi)始分解，200～250℃反應(yīng)加快；常溫下不與Fe、A1、Si、Zn反應(yīng)，與水和堿激烈反應(yīng)，與氨作用生成NH4F。S2F2易被活性氧化鋁吸收。S2F2為有毒的刺激性氣體，對(duì)呼吸系統(tǒng)有類似光氣的破壞作用。

（3）二氟化硫（SF2），極不穩(wěn)定，受熱后更加活潑，易水解生成S、SO2、HF?？捎脡A液或活性氧化鋁吸收。毒性與HF近似，美國(guó)毒性基準(zhǔn)規(guī)定為5×106。

（4）十氟化二硫（S2F10），為五氟化硫的二聚物，在常溫常壓下為易揮發(fā)性液體，無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)味，化學(xué)性質(zhì)上極穩(wěn)定；在水和濃堿液中分解極慢，且不溶于其中；在200～300℃時(shí)即完全分解生成SF4和SF6。S2F10是一種劇毒物質(zhì)，其毒性超過(guò)光氣，主要破壞呼吸系統(tǒng)，空氣中含1×106能使白鼠8h死亡。美國(guó)和聯(lián)邦德國(guó)曾規(guī)定S2F10在空氣中之允許濃度為0.025×106。（5）氟化亞硫酰（SOF2），為無(wú)色氣體，有窒息性味道?；瘜W(xué)性質(zhì)很穩(wěn)定，在紅熱溫度下仍不活潑，例如在125℃時(shí)不與Fe、Ni、CO、Hg、Si、Ba、Mg，Al、Zn以及氯、溴、一氧化氮等物質(zhì)反應(yīng)。SOF2可發(fā)生水解反應(yīng)，并能在堿的酒精溶液中分解。它與水的反應(yīng)在0℃時(shí)進(jìn)行緩慢，然而它與溶于HF中的水可瞬時(shí)反應(yīng)。SOF2為劇毒氣體，可造成嚴(yán)重肺水腫，刺激黏膜，當(dāng)空氣中含有1×106～5×106時(shí)即可覺(jué)察出刺激味道，并會(huì)引起嘔吐。

（6）氟化硫酰（SO2F2），無(wú)色無(wú)臭氣體，化學(xué)上極穩(wěn)定，加熱至150℃亦不與水和金屬反應(yīng)。SO2F2：被KOH、NH4OH緩慢吸收，但不易被活性氧化鋁吸收。蘇打石灰（CaO+NaOH）可吸收SO2F2。SO2F2是一種導(dǎo)致痙攣的有毒氣體，可引起全身痙攣并麻痹呼吸器官、肌肉、使其失去正常功能而造成窒息。它與SOF2不同，它的危險(xiǎn)性尤其在于無(wú)刺激味道，且不引起眼、鼻、黏膜的刺激作用，故初始不易察覺(jué)，往往發(fā)現(xiàn)中毒之后會(huì)迅速造成死亡。我國(guó)規(guī)定空氣中最高允許濃度為5×106。

（7）四氟化硫酰（SOF4），與水反應(yīng)生成SO2F2并放出大量熱；能被堿液吸收；對(duì)肺部有侵害作用。

（8）氟化氫（HF），對(duì)皮膚、黏膜有強(qiáng)刺激作用并可引起肺水腫、肺炎等；對(duì)設(shè)備材質(zhì)有腐蝕作用。

（9）二氧化硫（SO2），強(qiáng)刺激性氣體，損害黏膜及呼吸系統(tǒng)，還可引起胃腸障礙，疲勞等癥狀。

（10）二硫化碳（CS2），無(wú)色或淡黃色透明液體，有強(qiáng)刺激性氣味，易揮發(fā)，損害黏膜、神經(jīng)和血管