六氟化硫在工業(yè)中一般是由電解產(chǎn)生的氟在中高溫下與硫反應(yīng)而成，除了六氟化硫，還會(huì)產(chǎn)生少量的四氟化硫( SF4 ) 等副產(chǎn)品。

氟化硫直接產(chǎn)生六氟化硫的方法分為氟氣和固態(tài)硫磺、熔化硫和硫磺蒸汽三種方法：由于氟硫反應(yīng)是一種非常激烈的化學(xué)反應(yīng)，氟氣與固體硫磺反應(yīng)，它的反應(yīng)溫度不易控制，導(dǎo)致副產(chǎn)品升級(jí)，加重后處理壓力。此外，對(duì)于封閉的反應(yīng)釜，固體硫磺也很難連續(xù)地加入其中，因此，這種方法不適合工業(yè)生產(chǎn)。

氟氣體和硫磺蒸汽反映，將硫磺加熱到4455 ℃ (沸點(diǎn))以上，將硫轉(zhuǎn)化為蒸汽送入反應(yīng)釜和氟反應(yīng)，同樣也存在著反應(yīng)溫度難以控制的不足，其反應(yīng)溫度可達(dá)6000 ℃以上, 必須使用特殊的反應(yīng)釜材料，這種方法也不太適合工業(yè)生產(chǎn)。氟氣體與硫磺熔化反應(yīng)，就是將反應(yīng)釜中的硫磺維持在85～105 ℃熔融狀態(tài)與通入氟氣反應(yīng)。這種方法的反應(yīng)溫度更容易控制。

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