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國(guó)產(chǎn)氖氣崛起：助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控

文章出處：責(zé)任編輯：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2025-05-06 16:59:01【大中小】

湖北紐瑞德（湖北紐瑞德電子氣體有限公司）作為中國(guó)電子特種氣體領(lǐng)域的重要企業(yè)，其霓虹燈

（Ne）該產(chǎn)品在半導(dǎo)體、光電顯示、激光技術(shù)等高端制造領(lǐng)域具有關(guān)鍵應(yīng)用。以下是其主要應(yīng)用場(chǎng)

景和行業(yè)背景分析：

一、霓虹氣的核心應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體光刻工藝

•準(zhǔn)分子激光氣體：準(zhǔn)分子激光氣體：霓虹氣體為深紫外線（DUV）光刻機(jī)中使用的KRF(氟化氪)和

ArF(氟化氬)準(zhǔn)分子激光器的核心混合氣體成分(約95%)直接影響激光波長(zhǎng)的穩(wěn)定性和芯片工藝的精度。

•國(guó)內(nèi)替代需求：隨著美國(guó)對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備出口限制的加劇，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造商（如中芯國(guó)際和長(zhǎng)

江存儲(chǔ)）加快了供應(yīng)鏈的本土化，高純度霓虹燈已成為關(guān)鍵的“頸部”材料之一。紐瑞德等企業(yè)通過(guò)提

高純度（6N級(jí)以上）和技術(shù)認(rèn)證逐步取代進(jìn)口。

高純氖氣

2. 制造顯示面板

•等離子體蝕刻與清洗：OLED、在LCD面板生產(chǎn)中，霓虹燈用于等離子體蝕刻工藝，保證了顯示電

路的高精度加工。

•混合氣體比：與氦、氙等氣體混合，用于面板制造中的惰性保護(hù)環(huán)境，防止材料氧化。
3. 激光設(shè)備與光纖通信
•高功率激光器：霓虹燈作為二氧化碳激光器和光纖激光器的緩沖氣體，用于冷卻和能量傳輸。
• 5g光模塊：在光纖預(yù)制棒的制造中，霓虹燈用于高溫沉積過(guò)程的惰性保護(hù)。
4. 科研與醫(yī)療
•低溫工程：液霓(沸點(diǎn)-246℃)用于超導(dǎo)磁體冷卻（如MRI設(shè)備）。
•核聚變實(shí)驗(yàn)：作為等離子體約束實(shí)驗(yàn)中的工作氣體。
2、湖北紐瑞德的技術(shù)和市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)
1. 高純度制備技術(shù)
•霓虹燈凈化能力達(dá)到6N(99.9999%)以上，滿足半導(dǎo)體光刻和高端顯示面板的嚴(yán)格要求。
•自主開(kāi)發(fā)的氣體純化裝置和檢測(cè)技術(shù)(如GC-MS分析)，保證雜質(zhì)（O?、H?O等)控制在ppb級(jí)。
2. 供應(yīng)鏈安全保障

•國(guó)產(chǎn)化替代:烏克蘭曾經(jīng)是全球70%霓虹燈的供應(yīng)地，俄烏沖突導(dǎo)致價(jià)格飆升(2022年漲幅達(dá)到600%)。

紐瑞德通過(guò)空分廢氣提取技術(shù)(從鋼鐵廠空分裝置回收霓虹、氪、氙)，減少了對(duì)進(jìn)口的依賴。

•與國(guó)內(nèi)鋼鐵企業(yè)（如寶武集團(tuán)）合作，建立穩(wěn)定的霓虹原料供應(yīng)體系。
3. 客戶合作案例
•通過(guò)SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，進(jìn)入中芯國(guó)際、京東方、華星光電等龍頭企業(yè)供應(yīng)鏈。
•參與國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”（大型集成電路制造技術(shù)及成套工藝項(xiàng)目），促進(jìn)光刻氣體國(guó)產(chǎn)化。
三、行業(yè)挑戰(zhàn)與未來(lái)趨勢(shì)
1. 技術(shù)壁壘

•半導(dǎo)體級(jí)霓虹燈需要超過(guò)8N級(jí)純度（林德、普萊克斯等國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)），國(guó)內(nèi)企業(yè)仍需要

提高純化過(guò)程的穩(wěn)定性。

2. 地緣政治影響
•美國(guó)可能會(huì)將電子特色列入對(duì)華出口管制清單，迫使國(guó)內(nèi)加快整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的獨(dú)立控制。
3. 擴(kuò)展新興應(yīng)用
•量子計(jì)算：霓虹燈在量子比特冷卻中的潛在應(yīng)用。
•核醫(yī)學(xué)：用于制備放射性同位素的粒子加速器。

湖北紐瑞德的霓虹燈產(chǎn)品在半導(dǎo)體光刻、顯示面板等領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)替代中發(fā)揮著重要作用。其技術(shù)突破

和供應(yīng)鏈布局對(duì)確保中國(guó)高端制造業(yè)的安全至關(guān)重要。未來(lái)，我們需要繼續(xù)關(guān)注其純度的提高、國(guó)際

合作（如與ASML供應(yīng)商的認(rèn)證）和新興市場(chǎng)的發(fā)展和進(jìn)展。

武漢紐瑞德特種氣體有限公司是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)和銷(xiāo)售高純氦、氫、氮的公司。各種純度和規(guī)格齊全。

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