八氟環(huán)丁烷：高端工業(yè)的戰(zhàn)略氣體

武漢紐瑞德特種氣體有限公司是一家專業(yè)生產(chǎn)和銷售高純氦、氫、氮的公司。
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第一，八氟環(huán)丁烷的關(guān)鍵特性和工業(yè)價(jià)值

八氟環(huán)丁烷（C4F8）作為全氟環(huán)丁烷類物質(zhì)，其無氣味、不易燃、高熱穩(wěn)定性(分解溫度＞250℃)

和低極性成為高端工業(yè)領(lǐng)域的戰(zhàn)略功能氣體。其分子對(duì)稱結(jié)構(gòu)賦予優(yōu)異的化學(xué)惰性，在極端環(huán)境下

保持質(zhì)量穩(wěn)定，為高精度行業(yè)提供基礎(chǔ)材料保障。

•等離子蝕刻：在90nm以下的先進(jìn)工藝中，C4F8硅晶圓納米微結(jié)構(gòu)加工作為主要蝕刻氣體，通過精

確控制氟自由基濃度，提高了集成電路的良品率；

•設(shè)備清洗：在高溫等離子態(tài)下分解生成活性氟原子，有效清除CVD反應(yīng)腔內(nèi)的硅基殘留物，保證設(shè)

備高效運(yùn)轉(zhuǎn)。

•環(huán)保型制冷劑：ODP(臭氧消耗潛值)為0，GWP明顯小于傳統(tǒng)氟利昂，適用于超低溫冷凍機(jī)組和變

頻空調(diào)系統(tǒng)；

•分級(jí)純度控制：99.9%的量產(chǎn)(工業(yè)型)、99.98%(電子級(jí))、99.999%(半導(dǎo)體級(jí))商品，

含氧量≤0.002%、水份≤滿足EUV光刻氣規(guī)范的0.001%；

伴隨著第三代半導(dǎo)體（GaN、SiC）隨著柔性電子設(shè)備的興起，紐瑞德已經(jīng)儲(chǔ)備了8N級(jí)(99.99999%)

超純CC。C4F8中試產(chǎn)品，突破國(guó)內(nèi)光刻氣純度瓶頸。同步開發(fā)低GWP替代品(如六氟丁二烯)，幫助客

戶應(yīng)對(duì)歐盟F-Gas法律法規(guī)的限制。

八氟環(huán)丁烷正在從“功能材料”升級(jí)為“工業(yè)變革模塊”——其界限不斷擴(kuò)大，從量子芯片的熱管理介質(zhì)到

深空探測(cè)器的離子推進(jìn)劑。通過材料基因庫建設(shè)和應(yīng)用領(lǐng)域的預(yù)研，紐瑞德不斷推動(dòng)特種氣體價(jià)值的

轉(zhuǎn)變。

紐瑞德電子氣體有限公司以純度控制為基礎(chǔ)，以應(yīng)用創(chuàng)新為引擎，以綠色環(huán)保為責(zé)任，在八氟環(huán)丁

烷行業(yè)構(gòu)建了覆蓋“基礎(chǔ)材料-工藝方案-循環(huán)經(jīng)濟(jì)”的技術(shù)生態(tài)。未來，半導(dǎo)體、新能源和生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)

域的賦能價(jià)值將繼續(xù)深化，中國(guó)高端制造材料的自主化進(jìn)程將得到推動(dòng)。