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氫氮混合氣在電子器件中應用
在電子器件生產(chǎn)工藝中．廣泛使用了各種高純氣體．按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護氣、反應氣和載氣. 用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣．在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制?。@種方法需用大量電能來電解水，一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高. 為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應用各種混合氣．其中，以應用氮－氫混合氣為最多．國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮氫混更多 +
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