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液氮在電子工業(yè)中的應(yīng)用
液氮是低溫-196℃的液體,是由占用空氣成分百分之七十多的氮氣得來的。惰性、無色、無毒,易揮發(fā),使用范圍非常廣。液氮低溫易揮發(fā),所以一般儲存在專用容器—液氮罐中。 1、電子元件制造與檢測 液氮是一種更快和更有效的屏蔽和測試電子元器、電路板的方法。 2、低溫球磨技術(shù) 低溫行星式球磨機是將液氮氣體源源不斷地輸入裝有保溫罩的行星式球磨機中,這些冷氣將高速旋轉(zhuǎn)的球磨罐產(chǎn)生的熱量及時更多 +
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萬眾期待的氫能源汽車有什么優(yōu)勢呢?
近兩年來,氫能源汽車頻繁出現(xiàn)在大眾視野中,那么氫能源汽車究竟是什么呢? 氫能源汽車分為兩種,氫內(nèi)燃機汽車(HICEV)和氫燃料電池汽車(Fuelcellvehicle-FCEV)。目前,發(fā)展較快的為氫燃料電池汽車。 氫能源汽車是以氫為主要能量作為移動的汽車。一般的內(nèi)燃機,通常注入柴油或汽油,氫汽車則改為使用氣體氫。燃料電池和電動機會取代一般的引擎,即氫燃料電池的原理是把氫輸入燃料電池中,氫原子的電子被質(zhì)子交換膜阻隔,通過外電路從負(fù)極傳導(dǎo)到正極,成為電能驅(qū)動電動機;更多 +
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電子工業(yè)中如何正確選用高純氣體
隨著科學(xué)技術(shù)向高、精、尖發(fā)展,對各種原材料“純度”的要求開始越來越高。但是,高純氣體所能提供的數(shù)量通常總是較少的,同時,價格昂貴。因此,如何正確地恰如其分地提出對原料氣的純度要求,如何選用高純氣就成為一個值得討論的問題。 通常,人們常用百分濃度來轟示氣體的純度,即所謂用幾個“9”字的表示法。例如,某種氣體濃度為99.9%,表示含有0.1% 的雜質(zhì)(即雜質(zhì)含量為1000ppm)。按通常的概念,顯然,濃度為99.995%的氣體比99.99更多 +
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氮氫混合氣體在電子行業(yè)的應(yīng)用
在電子器件生產(chǎn)工藝中。廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護氣、反應(yīng)氣和載氣。 用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來電解水,一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高。 為減少電能消耗,降低成本,都在研制和應(yīng)用各種混合氣。其中,以應(yīng)用氮-氫混合氣為最多。國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮氫混合氣, 也有采用液氮分解法更多 +
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顯示屏制造中特種氣體的應(yīng)用
顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管(TFT),在二世紀(jì)九十年代開始投入民用,到如今已經(jīng)是我們生活中不可或缺的組成部分,它在我們生活中已經(jīng)是隨處可見了,大家天天離不開的手機、電視,馬路上的廣告、標(biāo)牌等等。 顯示屏的制造與半導(dǎo)體器件的制造有許多相似的地方,不僅生產(chǎn)工藝步驟十分相似,而且在制造過程中都需要使用大量的氣體,使用的氣體類型也大都相同。 今天紐小編就和大家一起來了解一下特種氣體在顯示屏生產(chǎn)中的應(yīng)用。 顯示屏生產(chǎn)中用到氣體主要分為量大類:電子特種氣體和更多 +
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氣相色譜法測定高純四氟化碳中三氟化氮雜質(zhì)的方法
四氟化碳這種含氟有機化合物作為蝕刻二氧化硅和氧化硅這樣的介質(zhì)材料已成熟運用多年,也是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。其混合氣體即四氟化碳和氧氣的混合、與氫的混合均在硅系列、薄膜蝕刻領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。同時在低溫下可作為低溫流體用,也在制冷、體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體泄露檢驗劑有一定的應(yīng)用空間。四氟化碳的廣泛應(yīng)用,其產(chǎn)品質(zhì)量要求也相應(yīng)的較為明確、規(guī)范。目前行業(yè)內(nèi)較為成熟的分析方法主要檢測四氟化碳中的氧(O2)、氮(N2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、六氟化硫(SF6)、水(H2O)更多 +
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如何去除四氟化碳?降低溫室效應(yīng)
四氟化碳分子式CF4,常溫下為無色氣體,四氟化碳只能微溶于水;對熱非常穩(wěn)定,化學(xué)性質(zhì)比四氯化碳更不活潑。分子呈正四面體結(jié)構(gòu)。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。但此外四氟化碳也是一種造成溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定,可以長時間停留在大氣層中,是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為50,000年,全球增溫(全球暖化)系數(shù)是6,500(二氧化碳的系數(shù)是1),所以去除生產(chǎn)過程中不必要的四氟化碳氣體非常重要。 不同添加氣體對微波電漿更多 +
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電子特氣—三氟碘甲烷蝕刻技術(shù)
三氟碘甲烷作為滅火劑具有滅火效率高、安全性能好、經(jīng)濟效用高、滅火后不留痕跡等特點,是哈龍1301優(yōu)選替代品種,經(jīng)NFPA的標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,可正式使用。在航空、航天等領(lǐng)域具有不可替代的作用。作為制冷劑,三氟碘甲烷不燃,具有油溶性和材料相容性很好的特點,被認(rèn)為是傳統(tǒng)氟利昂制冷劑組元的理想替代品之一。另外,三氟碘甲烷在含氟中間體、半導(dǎo)體蝕刻、發(fā)泡劑等其它領(lǐng)域也具有廣泛的應(yīng)用前景。 三氟碘甲烷(CF3I)作為半導(dǎo)體刻蝕氣體用于3D NAND Flash先進制程,與同種刻蝕氣體CF4,C4F6相比,三氟碘甲烷(C更多 +
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氘氣的制備技術(shù)
隨著全球經(jīng)濟的快速發(fā)展,社會對能源的需求量日益增大,各國在經(jīng)濟發(fā)展中都面臨著能源枯竭問題。這使得氘氣研究成為了備受關(guān)注的焦點,氘氣被稱為“未來的天然燃料”。氘氣可應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池等電子工業(yè)的燒結(jié)或退火工藝中以及核子融合反應(yīng),化學(xué)、生物化學(xué)等領(lǐng)域。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,氘氣應(yīng)用越來越廣泛,氘氣制備技術(shù)也有了研究的價值。氘氣是美國科學(xué)家哈羅德?克萊頓?尤里在一九三一年,在大量液體氫蒸發(fā)后利用光譜檢測方法發(fā)現(xiàn)的。氘氣的發(fā)現(xiàn)轟動了整個科學(xué)界,尤里也因此獲得了諾貝爾化學(xué)獎。氘氣最初主要應(yīng)用于軍事研究,如核能工業(yè)、核武器等,隨著時代發(fā)展,氘氣應(yīng)用逐步擴展到民用工業(yè)中,如光纖材料,特殊燈源等,研究氘氣制備技術(shù)也具有重要意義。更多 +
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電子氣體哪里用?
2018年是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化準(zhǔn)備的關(guān)鍵期,到2025年,第三代半導(dǎo)體器件將在移動通信、高效電能管理中國產(chǎn)化率占50%;LED通用照明市場占有率達到80%,核心器件國產(chǎn)化率達到95%;第三代半導(dǎo)體器件在新能源汽車、消費類電子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模應(yīng)用。第三代半導(dǎo)體是“重點新材料研發(fā)及應(yīng)用”重大項目的組成部分。 目前,我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,而微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的質(zhì)量要求極高,這促使了國內(nèi)特種氣體公司意識到了自有技術(shù)的重要性。我們將這個領(lǐng)域所使用的的氣體叫電子氣更多 +
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