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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)度

標(biāo)準(zhǔn)氣體、混合氣體廣泛地應(yīng)用于基礎(chǔ)科學(xué)、大氣污染、醫(yī)學(xué)診斷、石油化工、冶金地質(zhì)、原子能、微電子、光電子等諸多領(lǐng)域。標(biāo)準(zhǔn)氣體是供用戶作定量標(biāo)準(zhǔn)的，由于標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是量值測定的標(biāo)準(zhǔn)，具有復(fù)現(xiàn)、溯源、仲裁、保存和傳遞量值的作用。因此，配氣的準(zhǔn)度在標(biāo)準(zhǔn)氣生產(chǎn)中意義重大，否則用戶無法用此來進(jìn)行質(zhì)量的分析與控制。早在1981年國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(IS0)就制定了標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的國際標(biāo)準(zhǔn)，1985年我國也將
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: 混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體的不同

電子混合氣體和計量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要氣體具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，電子混合氣體必須要確?；旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，也應(yīng)對混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。 1、電子混合氣體的氣瓶處理同其他氣體不同，對盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格，否則，即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高，穩(wěn)定性再好也無
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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點和發(fā)展趨勢是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國為推動本國微電子工業(yè)的發(fā)展，越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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: 工業(yè)氣體的分類與應(yīng)用

1．工業(yè)氣體定義：在我國的工業(yè)生產(chǎn)上，把常溫、常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。一種瓶裝壓縮液態(tài)氣體，在常溫常壓下呈氣態(tài)，氣體種類有繁多，主要用于各種工業(yè)制造方面。 2．工業(yè)氣體應(yīng)用：工業(yè)氣體產(chǎn)品已是現(xiàn)代工業(yè)的重要基礎(chǔ)原料。工業(yè)氣體被喻為工業(yè)的“血液”。隨著中國經(jīng)濟的快速發(fā)展，工業(yè)氣體作為國民經(jīng)濟基礎(chǔ)工業(yè)要素之一，在國民經(jīng)濟中的重要地位和作用日益凸顯。其應(yīng)用范圍廣泛分布在：石油、化工、冶金、鋼鐵、機械、電子、電力、玻璃
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: 特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)
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: 環(huán)境監(jiān)測中標(biāo)準(zhǔn)氣體使用問題的探討

本文就日常使用標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)儀器設(shè)備過程中總結(jié)出一些注意要點，以供同行參考。引言：隨著國家經(jīng)濟和科技的不斷發(fā)展，氣體被廣泛應(yīng)用于化工、冶金、航空航天和環(huán)保等各個領(lǐng)域。作為氣體行業(yè)的一個重要分支，對于工業(yè)生產(chǎn)起到規(guī)范和發(fā)揮著質(zhì)量保證的作用。標(biāo)準(zhǔn)氣體（又叫校正氣體）屬于氣態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測定標(biāo)準(zhǔn)。在環(huán)境監(jiān)測過程中，標(biāo)準(zhǔn)氣體可以用于校準(zhǔn)測試儀器和質(zhì)量控制計劃中的期間核查，正確的使用標(biāo)準(zhǔn)氣體對測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性提供了關(guān)鍵的技術(shù)保證。
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: 氦氣、標(biāo)準(zhǔn)氣體等特種氣體在新興分散用氣市場的8大應(yīng)用

根據(jù)“十三五”規(guī)劃，國家近幾年將重點發(fā)展電子等八大行業(yè)，促進(jìn)行業(yè)轉(zhuǎn)型升級，這將會帶動氦氣、標(biāo)準(zhǔn)氣體等特種氣體的相關(guān)高值下游領(lǐng)域?qū)μ胤N氣體的需求，從而促進(jìn)特種氣體行業(yè)發(fā)展。過去特種氣體主要在大宗集中用氣市場，主要應(yīng)用于鋼鐵、有色金屬、石油化工及煤化工等行業(yè)，以現(xiàn)場制氣集中供應(yīng)的方式為主，市場客戶對單一氣體使用量巨大但用氣的品種較少。今后，特種氣體將向新興分散用氣市場拓展，主要集中在電子、光纖、光伏、醫(yī)療、食品、生物醫(yī)藥、電光源、機械制造及精細(xì)
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: 混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣、電子氣體等特種氣體國產(chǎn)化替代趨勢明顯

經(jīng)濟新常態(tài)下更加強調(diào)經(jīng)濟結(jié)構(gòu)的優(yōu)化升級，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保、醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)對中國經(jīng)濟增長的貢獻(xiàn)率將愈加突出。特種氣體作為上述產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的關(guān)鍵性材料，其市場規(guī)模將保持持續(xù)高速發(fā)展。另外，由于在建國初期中國的工業(yè)化程度不高，中國在特種氣體技術(shù)儲備不足，隨著中國的技術(shù)進(jìn)步，國產(chǎn)化替代趨勢愈發(fā)加快。在特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)，單一高純氣體的需求是有限的，更多的是一些混合氣、特殊混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣。這類氣體種類繁雜，需求量大，占
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: 5G時代，鍺烷市場需求凸顯

鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對整個行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價值。5G時代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來滿足其對高性能和低功耗的要求。國家發(fā)改委《增強制造業(yè)核心競爭力三年行動計劃(2018-2020年)》曾對鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間
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: 科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達(dá)百余種。日前，2021中國先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過對國內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來發(fā)展趨勢。電子氣體核心技術(shù)通常有四個大類，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測技術(shù)。計總通過科利德公司電子級一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成
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