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混合氣體和標準氣體的不同
電子混合氣體和計量學上的標準氣體有許多相似的特點，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要氣體具有優(yōu)良的品質，換言之，電子混合氣體必須要確?；旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。 1、電子混合氣體的氣瓶處理 同其他氣體不同，對盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴格，否則，即便是混合氣體配制的準確度再高，穩(wěn)定性再好也無更多 +
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半導體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。由于它的化學穩(wěn)定性極 強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點和發(fā)展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規(guī)模，各國為推動本國微電子工業(yè)的發(fā)展，越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術。就目前 而言，CF4更多 +
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特種氣體的應用
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。 電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。 特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應更多 +
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環(huán)境監(jiān)測中標準氣體使用問題的探討
本文就日常使用標準氣體校準儀器設備過程中總結出一些注意要點，以供同行參考。 引言： 隨著國家經(jīng)濟和科技的不斷發(fā)展，氣體被廣泛應用于化工、冶金、航空航天和環(huán)保等各個領域。作為氣體行業(yè)的一個重要分支，對于工業(yè)生產(chǎn)起到規(guī)范和發(fā)揮著質量保證的作用。標準氣體（又叫校正氣體）屬于氣態(tài)的標準物質，是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準確的測定標準。在環(huán)境監(jiān)測過程中，標準氣體可以用于校準測試儀器和質量控制計劃中的期間核查，正確的使用標準氣體對測試結果的準確性和可靠性提供了關鍵的技術保證。更多 +
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混合氣、標準混合氣、電子氣體等特種氣體國產(chǎn)化替代趨勢明顯
經(jīng)濟新常態(tài)下更加強調經(jīng)濟結構的優(yōu)化升級，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保、醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)對中國經(jīng)濟增長的貢獻率將愈加突出。 特種氣體作為上述產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的關鍵性材料，其市場規(guī)模將保持持續(xù)高速發(fā)展。另外，由于在建國初期中國的工業(yè)化程度不高，中國在特種氣體技術儲備不足，隨著中國的技術進步，國產(chǎn)化替代趨勢愈發(fā)加快。 在特種氣體的應用領域內，單一高純氣體的需求是有限的，更多的是一些混合氣、特殊混合氣、標準混合氣。這類氣體種類繁雜，需求量大，占更多 +
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科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展
近年來，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術帶動了泛半導體的高速發(fā)展。電子材料是半導體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達百余種。日前，2021中國先進電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過對國內電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術的未來發(fā)展趨勢。 電子氣體核心技術通常有四個大類，即合成技術、純化技術、潔凈灌裝技術和檢測技術。計總通過科利德公司電子級一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成更多 +
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國內電子氣體發(fā)展趨勢了解下
電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學反應)，是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎和支撐性材料之一，相關下游領域的快速發(fā)展將帶動未來特種氣體的增量需求。 行業(yè)壁壘和國內電子特氣現(xiàn)狀：電子特氣對氣源和供應系統(tǒng)有著苛刻的要求，屬于典型的技術密集型行業(yè)。技術工藝、設備資質、客戶認證、市場服務共同構成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術壁壘。更多 +
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帶你了解一下我國的電子氣體
2018年全球集成電路用電子氣體的市場規(guī)模達到45.12億美元，同比增長16%，半導體用電子特氣行業(yè)增速高，龐大的市場規(guī)模，讓電子特氣的國產(chǎn)替代計劃全面加速！ 什么是電子氣體呢？ 電子氣體指的是用于半導體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎性源材料，被廣泛的應用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應用范圍包括電子行業(yè)、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領域。 電子特氣按其本身化學成分可分為：硅系、砷系、磷系更多 +
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三氟化氮等特種電子氣體高速發(fā)展
近年來，《中國制造2025》、《“十三五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》、《關于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關企業(yè)所得稅政策問題的通知》等政策扶持，我國超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池等產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展。同時，含氟特種電子氣體伴隨這些行業(yè)的高速發(fā)展增長亦十分可觀。 常用的含氟特種電子氣體有六氟化硫(SF6)、六氟化鎢(WF6)、四氟化碳(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)等。 三氟更多 +
