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半導體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。由于它的化學穩(wěn)定性極 強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點和發(fā)展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規(guī)模，各國為推動本國微電子工業(yè)的發(fā)展，越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前 而言，CF4更多 +
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特種氣體的應用
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。 電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。 特種氣體的應用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應更多 +
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5G時代，鍺烷市場需求凸顯
鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對整個行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應用價值。5G時代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來滿足其對高性能和低功耗的要求。國家發(fā)改委《增強制造業(yè)核心競爭力三年行動計劃(2018-2020年)》曾對鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過具體要求。鍺烷也用于紅外光學材料、航天器空間更多 +
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電子級氯化氫市場迎來重大機遇
電子級氯化氫屬于國家重點鼓勵發(fā)展類項目，隨著微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展，對廣泛用于硅外延片和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應具有99.999%以上的純度，還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質(zhì)的含量越低越好。 硅外延片下游終端應用廣泛，近年隨著新興技術(shù)的出現(xiàn)其下游應用不斷拓寬，新興應用市場不斷涌現(xiàn)。通信、計算機、消費電子、光伏、智能電網(wǎng)、醫(yī)療電子等終端應用領(lǐng)域的快速發(fā)展以及人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)的崛起極大地促進了集更多 +
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國內(nèi)電子氣體發(fā)展趨勢了解下
電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學反應)，是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動未來特種氣體的增量需求。 行業(yè)壁壘和國內(nèi)電子特氣現(xiàn)狀：電子特氣對氣源和供應系統(tǒng)有著苛刻的要求，屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)。技術(shù)工藝、設備資質(zhì)、客戶認證、市場服務共同構(gòu)成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術(shù)壁壘。更多 +
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高純氫氣的應用領(lǐng)域
氫氣有著廣泛的應用領(lǐng)域，其中，作為一種重要的石油化工原料是用量大的，用于生產(chǎn)合成甲醇、氨及石油煉制過程的加氫。氫氣不僅廣泛應用于冶金工業(yè)、電子工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細化工和有機合成，在航空航天工業(yè)等領(lǐng)域也有著廣泛應用。氫作為能源，是未來發(fā)電、電動汽車用燃料電池的燃料。 石油化工： 氫氣是現(xiàn)代煉油工業(yè)和化學工業(yè)的基本原料之一，在廣泛范圍內(nèi)氫以多種形式用于石油化學工業(yè)。我國的合成氨生產(chǎn)的主要原料是煤制氣、天然氣、石腦油和重油，一個1000t/d規(guī)模的合成氨廠，每生產(chǎn)1t氨氨約需氫氣336m3。與合更多 +
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存儲芯片需求增長，2025年電子級稀有氣體用量或增加至850ML
在信息時代的飛速發(fā)展中，海量數(shù)據(jù)的處理不僅對于芯片算力提出越來越高的要求，不斷累積的數(shù)據(jù)也需要更大、更快、延時更低的存儲介質(zhì)。電子工業(yè)中氪氙氣體主要用于3D NAND存儲器高深寬比刻蝕工藝，從而實現(xiàn)多層堆疊結(jié)構(gòu)。預計2025年全球電子級稀氪氖氙氣體用量將增加至850ML，較2020年增長29%。 激光氣體主要用于電子工業(yè)中激光退火和光刻氣。光刻機是半導體制造的核心設備，光刻定義了晶體管尺寸，光刻產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展是光刻機突破關(guān)鍵。與之配套的光刻膠、光刻氣體、光罩等半導體更多 +
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氪氣最新用途及市場|紐瑞德氣體
氪氣具有密度高、導熱系數(shù)小、透射率大等性質(zhì)。廣泛應用于電子工業(yè)和電光源工業(yè)。紐瑞德高純氪氣供應，咨詢熱線：400-6277-838 氪具有比氬更大的相對分子質(zhì)量和小的導熱系數(shù)，使它成為優(yōu)良的充填氣。用氪氣充填的等有：白熾燈、熒光燈、閃光弧光燈、碘燈等。氪燈比同功率的氟燈省電20%~25%，壽命長2~3倍。長壽命氪燈體積小，對礦井作業(yè)很適用。實驗室里用到的連續(xù)紫外光等也可以用氪氣充填。氪還能制成不需要電能的原子燈，用于無可用電源的工作場所。氪燈的透射能力特別強，可用于夜戰(zhàn)中的越野戰(zhàn)車做照射燈。在飛機更多 +
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常見的電子混合氣體組分|紐瑞德特氣
電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱為電子氣。在大規(guī)模集成電路（LSI）、超大規(guī)模集成電路（VLSI）、半導體和電子器件生產(chǎn)與加工過程中，電子氣主要用于氣相外延生長、化學氣相淀積、摻雜（雜質(zhì)擴散）、蝕刻、離子注入、濺射、退火、系統(tǒng)加壓、潔凈吹掃、吸氣覆蓋、氧化和還原等工藝。其中部分氣體直接作為半導體源，如硅源、硼源、磷源和CVD 源等等。 常見的幾種電子混合氣體： Oxygen in Tetrafluoromethane 4% O2/CF4 8% O2/CF4 1更多 +
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常見的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣
氣體在半導體工業(yè)和微電子工業(yè)中扮演著不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外，還有一個重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路（L.S.I）超大規(guī)模集成電路（V.L.S.I）和半導體器件生產(chǎn)中，主要用于氣相外延（生成）、化學氣相淀積、摻雜（雜質(zhì)擴散）、各類蝕刻和離子注入等工藝中。 根據(jù)不同用途又可以將電子混合氣體分為：晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊更多 +
