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: 用質(zhì)量測(cè)定法確定標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度值

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和市場(chǎng)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體日益增長(zhǎng)的需要，標(biāo)準(zhǔn)氣體的種類(lèi)越來(lái)越多，復(fù)雜程度也越來(lái)越高，其應(yīng)用領(lǐng)域涉及到石油化工、勘探、冶金、機(jī)械制造、電子、煤炭、電力、環(huán)保等領(lǐng)域（工藝氣體或標(biāo)準(zhǔn)氣體）。近年來(lái)，在標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備過(guò)程中經(jīng)常會(huì)發(fā)生一些意想不到的事故，不僅造成了人身傷害，同事也造成了巨大的財(cái)產(chǎn)損失。因此，了解和掌握氣體及材料的性質(zhì)，合理設(shè)計(jì)充裝工藝，制定嚴(yán)格的操作程序，清楚地標(biāo)識(shí)氣瓶的危害性，才能確保制備和使用標(biāo)準(zhǔn)氣體過(guò)程中的安全。一、充裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 不相容的氣體不能在一個(gè)充裝系統(tǒng)上充裝。要設(shè)計(jì)兩套獨(dú)立的充裝系
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的安全生產(chǎn)與管理

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和市場(chǎng)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體日益增長(zhǎng)的需要，標(biāo)準(zhǔn)氣體的種類(lèi)越來(lái)越多，復(fù)雜程度也越來(lái)越高，其應(yīng)用領(lǐng)域涉及到石油化工、勘探、冶金、機(jī)械制造、電子、煤炭、電力、環(huán)保等領(lǐng)域（工藝氣體或標(biāo)準(zhǔn)氣體）。近年來(lái)，在標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備過(guò)程中經(jīng)常會(huì)發(fā)生一些意想不到的事故，不僅造成了人身傷害，同事也造成了巨大的財(cái)產(chǎn)損失。因此，了解和掌握氣體及材料的性質(zhì)，合理設(shè)計(jì)充裝工藝，制定嚴(yán)格的操作程序，清楚地標(biāo)識(shí)氣瓶的危害性，才能確保制備和使用標(biāo)準(zhǔn)氣體過(guò)程中的安全。一、充裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 不相容的氣體不能在一個(gè)充裝系統(tǒng)上充裝。要設(shè)計(jì)兩套獨(dú)立的充裝系
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: 一周翻了5倍的稀有氣體——氖氣

氖氣（Ne），制造芯片的關(guān)鍵性材料，怎么個(gè)關(guān)鍵？沒(méi)有光刻機(jī)，做不出芯片。沒(méi)有光刻氣，光刻機(jī)就是個(gè)模型。氖氣，占光刻氣這種激光氣體混合物的96%以上。氖氬氟等稀有氣體經(jīng)高壓受激發(fā)后形成等離子體，在這個(gè)過(guò)程中，由于電子躍遷，會(huì)產(chǎn)生固定波長(zhǎng)的光線，形成了剔除光刻膠的刀片。除此之外，還有兩個(gè)好兄弟，氪氣（同樣用于光刻制程），氙氣（用于半導(dǎo)體刻蝕制程）。一周內(nèi)，氪氣漲幅約30%，目前主流價(jià)格在38000-42000元/方。氙氣漲幅約40%，主流價(jià)格在42萬(wàn)—45萬(wàn)/方。
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: 六氟化硫應(yīng)用領(lǐng)域

一、六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應(yīng)用于電器工業(yè)，如：斷路器、高壓開(kāi)關(guān)、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。二、冷凍工業(yè)作為致冷劑，致冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能，用作高壓開(kāi)關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。采礦工業(yè)用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。三、SF6還因其化學(xué)惰性、無(wú)毒、不燃及無(wú)腐蝕性，還被廣泛應(yīng)用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護(hù)氣體）、航空航天、醫(yī)療（Ｘ光機(jī)、激光機(jī)
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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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: 混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣、電子氣體等特種氣體國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)明顯

經(jīng)濟(jì)新常態(tài)下更加強(qiáng)調(diào)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化升級(jí)，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保、醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)對(duì)中國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的貢獻(xiàn)率將愈加突出。特種氣體作為上述產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的關(guān)鍵性材料，其市場(chǎng)規(guī)模將保持持續(xù)高速發(fā)展。另外，由于在建國(guó)初期中國(guó)的工業(yè)化程度不高，中國(guó)在特種氣體技術(shù)儲(chǔ)備不足，隨著中國(guó)的技術(shù)進(jìn)步，國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)愈發(fā)加快。在特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)，單一高純氣體的需求是有限的，更多的是一些混合氣、特殊混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣。這類(lèi)氣體種類(lèi)繁雜，需求量大，占
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: 5G時(shí)代，鍺烷市場(chǎng)需求凸顯

鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對(duì)整個(gè)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價(jià)值。5G時(shí)代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來(lái)滿足其對(duì)高性能和低功耗的要求。國(guó)家發(fā)改委《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力三年行動(dòng)計(jì)劃(2018-2020年)》曾對(duì)鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過(guò)具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間
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: 科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來(lái)，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動(dòng)了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類(lèi)重要材料，品類(lèi)多達(dá)百余種。日前，2021中國(guó)先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。電子氣體核心技術(shù)通常有四個(gè)大類(lèi)，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)。計(jì)總通過(guò)科利德公司電子級(jí)一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成
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: 氙氣用于醫(yī)療麻醉是應(yīng)用了物理還是化學(xué)性質(zhì)？

醫(yī)療領(lǐng)域?yàn)殡瘹鈶?yīng)用提供了新的長(zhǎng)期潛在增長(zhǎng)。氙氣用于增強(qiáng)X射線、CAT掃描和MRI成像。單個(gè)MRI設(shè)備無(wú)法檢查人類(lèi)肺部的許多細(xì)微結(jié)構(gòu)。然而，通過(guò)吸入氙氣/氧氣混合物，MRI掃描可以檢測(cè)出必要的軟組織精細(xì)結(jié)構(gòu)，從而幫助醫(yī)生對(duì)許多肺部疾病做出更準(zhǔn)確的診斷。倫敦皇家學(xué)院的科學(xué)家發(fā)現(xiàn)氙氣可以幫助保護(hù)受損的神經(jīng)細(xì)胞。近60年來(lái)，人們發(fā)現(xiàn)氙氣具有麻醉作用。作為一種麻醉劑，氙不會(huì)與各種手術(shù)材料發(fā)生反應(yīng)，也不會(huì)在體內(nèi)產(chǎn)生代謝物。它是一種對(duì)心腦血管影響最小的麻醉劑，與其他麻醉劑一樣，對(duì)人體沒(méi)有毒性和副作用
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: 電子特種氣體供需問(wèn)題亟待通過(guò)回收再利用技術(shù)解決

面對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來(lái)的溫室氣體排放問(wèn)題和地緣政治問(wèn)題引起的特殊氣體供求問(wèn)題，韓國(guó)專(zhuān)家專(zhuān)家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上，韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專(zhuān)題研討。他認(rèn)為，由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體
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